Einleitung
Für unsere Forschung an innovativen Sensor- und Fertigungstechnologien betreiben wir am Institut für Intelligente Sensorik und Theoretische Elektrotechnik mehrere Großgeräte. Diese leistungsfähige Infrastruktur ermöglicht es uns, komplexe Experimente durchzuführen, neue Materialien zu untersuchen und hochpräzise Mikro- und Nanostrukturen herzustellen. Auf den folgenden Unterseiten werden die einzelnen Geräte sowie ihre jeweiligen Einsatzmöglichkeiten im Detail vorgestellt.
